小抽速爱德华螺杆泵真空泵IX80/160，螺杆真空泵IX系列产品是抽气量很小的螺杆系列产品，一般是在半导体实验室使，，真空泵配件，和真空泵维修，Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。