安捷伦分子泵是一种高速旋转的机械泵,因此对平衡的要求很高,对固体异物非常脆弱,通常要在分子泵的入口处安装金属过滤网。分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。常规的分子泵使用轴承来确保叶片的高速旋转。新型的分子泵采用磁悬浮构造,使得叶片转速不断提高的同时,更使分子泵适合超高真空系统,也延长了分子泵的使用寿命。
1、清洁无油蒸汽返流
干式操作:分子泵可以在无任何润滑油的情况下运行,从而为被抽容器提供一个极为清洁的真空环境。
消除碳氢化合物:现代涡轮分子泵通过采用空气轴承或磁悬浮轴承技术,完q杜绝了油蒸汽返流的问题,确保了工作环境中不含有任何碳氢化合物。
2、使用方便
简单启动:涡轮分子泵只需按电钮即可开始工作,无需高真空或粗真空阀,可以从大气压力降z极限压力。
灵活安装:涡轮分子泵的安装方向不受限制,可在任意方向安装,占用空间小,适用于安装位置受限的地方。
3、气体输送能力强
轻气体输送:大多数涡轮分子泵对轻气体(如氢、氦)的输送能力很强,特别适用于超高真空下的工艺操作。
耐腐蚀设计:有专门设计的涡轮分子泵用于抽除腐蚀性气体,适用于刻蚀、反应离子刻蚀等工艺操作。
4、超高真空应用的适用性
高极限真空:一台密封良好的涡轮分子泵,配以性能良好的前级泵,其极限真空可达到10^-10 Torr(即13.33 nPa)之间。
满抽速运转:与低温泵或离子泵不同,涡轮分子泵在超高真空条件下仍能满抽速运转,这使它在高分辨率质谱仪等设备上得到广泛应用。
5、高压力下性能良好
稳定性强:某些涡轮分子泵的入口压力可在10^-3^至10^-10^Torr(即13.33 Pa至13.33μPa)之间运行,在这个压力范围内,其他类型的泵会变得不稳定。
6、循环时间短
快速启动停止:多数涡轮分子泵在较短时间内(大约3分钟)即可达到正常运行速度,并且能立即关闭并暴露于大气压,这种快速循环特性在样品输入系统中非常有用。
7、使用寿命长
抗重气体负荷和阀门漏气:在重气体负荷和阀门漏气的情况下,涡轮分子泵的使用时间要比其它泵更长,且不会因泵油污染真空室。